Virsmas metroloģijas sistēma

FRT MicroProf MPR 1250

Fries Research & Technology
Iekārtas nosaukums: FRT MicroProf® MPR 1250
FRT MicroProf® MPR 1250 ir augstas precizitātes virsmas mērīšanas sistēma no MicroProf® sērijas, ko izstrādājusi Fries Research & Technology GmbH (FRT).
Šīs sistēmas ir paredzētas nedestruktīvai un bezkontakta virsmu parametru (piemēram, topogrāfijas, raupjuma, slāņa biezuma u.c.) analīzei.

FRT MicroProf īpašības:
Iekārtas specifikācija:
Modelis: FRT MicroProf® MPR1250
Preces numurs: 200 00
Sensora tips: CWL 300 µm
Sērijas numurs: 0904001
Mērīšanas princips: hromatiski-konfokālais punktu sensors
Gaismas avots: halogēna spuldze, baltā gaisma
Vertikālā izšķirtspēja: līdz 3 nm
Mērīšanas precizitāte (Z): 100 nm
Laterālā izšķirtspēja (XY): 2,5 µm
Mērīšanas leņķis pret virsmu: 90° ±30°
Maks. parauga izmērs: apm. 310 x 310 x 50 mm

Tehniskie dati (izvilkums):
XY galds:
Tips: kompakts XY krustgalds
Gaita (mērīšanas diapazons): 200 x 200 mm
Gultņošana: mehāniska krustenisku ruļļu vadīkla
Piedziņa: DC motors ar lodīšu skrūvi
Pozicionēšanas sistēma: Heidenhain stikla lineāls ar atsauces atzīmi
Mērīšanas sistēmas izšķirtspēja: 0,2 µm
Atkārtojamības precizitāte: < ±1 µm
Taisnleņķība XY: < 4 µm / 200 mm
Augstuma novirze (uz asi): < 2 µm / 200 mm

Z ass (motorizēta):
Tips: lineārā ass
Gaita: 50 mm (pēc izvēles 100 mm)
Piedziņa: soļu motors ar vītņstieni
Sāniskā nobīde: < 2 µm / 50 mm
Manuāla rupjā regulēšana (pēc izvēles):
Tips: bezastes vadītājs
Regulēšanas diapazons: līdz 300 mm parauga augstumam

Mērīšana:
Minimālais punktu attālums (XY): 0,6 µm
Parauga izmērs: apm. 310 x 310 x 50 mm
Maks. parauga svars: 5 kg (pēc izvēles 10 kg)
Mērīšanas ātrums: 1 µm/s līdz max. 100 mm/s

Sistēma:
Kopējais svars: apm. 275 kg (mērīšanas uzbūve: 225 kg)
Uzbūves platība: apm. 0,9 x 0,8 m
Vadības bloka izmēri (P x Dz x A): apm. 0,55 x 0,53 x 0,32 m
Barošana (ES/ASV): 110–240 V, 50–60 Hz, 16 A
Elektroenerģijas patēriņš: apm. 300–400 W

Darbības apstākļi:
Temperatūras diapazons: 22°C ±5°C
Temperatūras stabilitāte: < 0,5°C
Svars apm. 500 kg

Stāvoklis:
Iekārta ir ļoti labā tehniskā un vizuālā stāvoklī. Visas asis kustas precīzi un vienmērīgi.

Komplektā:
Gbedpfx Acswh Swdsuju
MicroProf® MPR200 00 XY mērīšanas sistēma
Vadības bloks
Savienojuma kabeļi
(
Iespējamas izmaiņas un kļūdas tehniskajos datos – informācija nav saistoša!)
Apskate un testēšana uz vietas iespējama pēc vienošanās.
Papildu jautājumus atbildēsim telefoniski.

Sludinājums tika tulkots automātiski, tāpēc tajā varētu būt dažas tulkošanas kļūdas.